Конфокальный сканирующий лазерный микроскоп Optelics Hybrid, (Lasertec Corporation, Япония, 2021 г.)
|
Многофункциональный микроскоп, оснащенный двумя комплектами оптики(лазерное излучение с длиной волны 405 нм и источник белого цвета), позволяет решать следующие задачи:
Основные технические данные
|
Многофункциональный микроскоп, оснащенный двумя комплектами оптики(лазерное излучение с длиной волны 405 нм и источник белого цвета), позволяет решать следующие задачи:
- получение конфокальных изображений с широким полем обзора и высоким разрешением с возможностью выбора оптимального источника излучения с 6 различными длинами волн;
- наблюдение в режиме реального времени жидких и иных образцов;
- измерение высот на наноразмерном уровне в поле обзора, измеряемом в миллиметрах с использованием интерференционных методов;
- измерение толщин (более 1 мкм) прозрачных пленок с использованием принципов спектроскопической рефлектрометрии;
- определение параметров шероховатости в 2-х и 3–х измерениях согласно стандартам ISO и JIS.
Основные технические данные
| Источник видимого света | Ксеноновая лампа |
| Источник лазерного излучения | Полупроводниковый лазер 405 нм |
| Измерения в плоскости XY | Точность: ±[0.02*(100/Увеличение объектива)+L/1000], мкм Воспроизводимость:10 нм |
| Измерения по оси Z | Точность:±(0.11+L/100), мкм Воспроизводимость: 10 нм Диапазон измерения: 7 мм |